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淄博高新技术产业开发区MEMS研究院由淄博高新区管委会与清华大学机械工程学院于2010年11月共同建设，是微机电制造领域国内第一个校地共建研究院，是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。研究院聘任中国工程院院士、清华大学副校长尤政担任名誉院长。

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